CCI HD

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    Der CCI HD ist ein kontaktloser optischer 3D-Profiler mit der Fähigkeit zum Messen von Dickschicht und Dünnfilm. Er verwendet einen innovativen, patentierten Korrelationsalgorithmus zum Finden des Kohärenzspitzenwerts und Phasenposition eines Interferenzmusters, das von unserer optischen Präzisionsabtasteinheit produziert wird. Der neue CCI HD verbindet die weltweit führende Fähigkeit zur kontaktlosen dimensionalen Messung mit fortschrittlicher Dünn- und Dickfilmtechnologie.

    Der CCI HD wurde entworfen, um beide Arten der Messung von Filmdicke, zusätzlich zur Fähigkeit dimensionaler und Rauigkeitsmessung, anzubieten. Dickfilmanalyse wurde in den letzten Jahren verwendet, um halbtransparente Beschichtungen bis zu 1,5 Mikron zu untersuchen; die Beschränkung ist abhängig vom Brechungsindex der Materialien und der NA des Objektivs. Dünnere Beschichtungen haben sich als größere Herausforderung erwiesen.

    Es ist nun möglich, Dünnfilmbeschichtungen bis zu 50 nm (ebenfalls abhängig vom Brechungsindex) durch Interferometrie zu untersuchen. Diese neue Vorgehensweise ermöglicht die Untersuchung der Eigenschaften wie Filmdicke, Grenzflächenrauigkeit, Aperturblendendefekte und Enthaftung von dünn beschichteten Oberflächen, alles mit einer einzigen Messung.

    • 2048 x 2048 Pixelarray für große FOV mit hoher Auflösung
    • 0,1 Ångström Auflösung über den gesamten Messbereich
    • 0,3% - 100% Oberflächenreflektivität kann untergebracht werden
    • <0,2 Ångström RMS Wiederholpräzision, 0,1% Sprunghöhenwiederholpräzision
    • 64-Bit Steuerung- und Analysesoftware, mehrsprachig
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