MEMS und Nanotechnologie

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    Mikro-Elektro-Mechanische Systeme (MEMS) werden heute in zahlreiche Anwendungen eingesetzt, wie z.B. für Druck- und Beschleunigungssensoren, für Mikrospiegel-Displays und Mikro-Flüssigkeitspumpen. MEMS-Geräte erweitern die Fertigungstechniken, die von der IC-Branche zur Herstellung mechanischer Elemente wie Zahnräder, Membranen und Verbindungsträger eingesetzt werden können. Die präzise Messung aller dieser Elemente ist für die Massenfertigung kostengünstiger und hochwertiger MEMS-Geräte von ausschlaggebender Bedeutung.

     

    Messung

    Rauheit
    Die genaue Messung der Rauheit in MEMS-Geräten ermöglicht die Überwachung von Oberflächeninteraktionen, unabhängig davon, ob es sich um Fest/Fest-Interaktionen wie bei Mikro-Zahnradsystemen oder um Fest/Flüssig-Interaktionen wie bei Mikroflüssigkeitspumpen handelt.

    Stufenhöhe
    Die Überwachung der Stufenhöhe von MEMS-Geräten ist ein wichtiges Leistungskriterium. Neben den Seitenmaßinformationen vermittelt die Stufenhöhe eine gute Einschätzung der Masse, durch die die Schwingungsgrundfrequenz der einzelnen Elemente im Gerät beeinflusst wird.

    Seitenmaße
    Seitenmaße sind besonders bei der Erfassung von Mikro-Zahnrad- und -Flüssigkeitssystemen wichtig. Die genaue Messung von Volumen und Oberfläche sowie von kritischen Maßen wie Trägerbreite ermöglicht die Beeinflussung des Leistungsverhaltens des gesamten Gerätes.

     

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