Stufenhöhe

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    Eine präzise und wiederholbare Messung der Stufenhöhe ist für viele Hi-Tech-Anwendungen erforderlich. Taylor Hobson bietet eine Reihe von Messgeräten, die für die höchsten Anforderungen im Bereich der Stufenhöhenmessung konzipiert sind. Diese Geräte decken einen Stufenhöhenbereich von unterhalb des Nanometerbereichs bis in den Millimeterbereich bei einer Wiederholbarkeit von unter 0.1 nm ab.

     

    Messung

    3D-Stufenhöhe
    Ermittlung der Höhendifferenz zwischen zwei Ebenen, die durch zwei Bereiche auf einer Fläche definiert werden. Der erste Bereich ist als Bezug festgelegt. Die Software passt eine mittlere Ebene (Gauß-Ebene) in diesen Bereich ein. Die zweite Ebene wird dann ausgehend von diesem Bereich bestimmt. Neben der mittleren Stufenhöhe, der maximalen und der minimalen Höhe, wird auch die Winkeldifferenz ermittelt.

    2D-Stufenhöhe
    Hierbei handelt es sich um eine Methode zur Messung der Stufenhöhe bei einfachen geometrischen Formen wie geätzten Linien oder rechteckigen Flächen. Die 2D-Stufenhöhe kann auch zur Messung der Dicke einer frei liegenden Kante eingesetzt werden.

    Stufenhöhe nach ISO 5436-1
    Beim Vergleichen von Stufenhöhen, die mit unterschiedlichen Messgeräten ermittelt wurden, ist unbedingt eine Standardmessmethode einzuhalten. Die Norm DIN EN ISO 5436-1 beschreibt eine international anerkannte Methode zur Messung der Stufenhöhe. Die vorstehend genannten Messgeräte entsprechen alle dieser Norm

     

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